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· 激光隱形切割
激光隱形切割
激光隱形切割技術能夠在不破壞工件表面的情況下將工件分割,具有無熱熔、崩邊小、切縫窄、加工速度快等特點,被廣泛應用于MEMS晶圓、RFID晶圓和Memory晶圓等領域。
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方案優勢
切割質量高 無崩邊、粉塵或燒蝕
加工速度快 切割速度600mm/s
定位精度高 重復定位精度±1μm
無熱影響 無需水冷或清洗,無熱變形
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